近年来，发现薄膜具有优良的铸极化性能。考虑到它在硅集成电路工艺中的重要位置，人们希望薄膜成为准备微型集成声传感器的敏感薄膜材料。
有机聚合物驻极体材料具有良好的电荷储存稳定性。目前市场上销售的驻极体传感器大多是有机聚合物驻极体膜传感器。虽然这种传感器具有寿命长、薄膜型、成本低的优点，但都是大型分离器，不能满足驻极体声传感器的小型化和集成化要求。但是，薄膜的驻极化电荷在高温下容易丢失，薄膜具有良好的亲水性，表面电导随着环境湿度的上升急剧增加，储存在薄膜表面和近表面的驻极化电荷容易衰减，这些都制约了微型集成声传感器的发展。等离子清洗机可以改变材料的表面特性，如提高表面的耐腐蚀性、抗氧化性、耐磨性等。
目前，有一种新的快速方便的物理处理方法，即使用等离子清洗机对薄膜进行适当的处理，使薄膜在恒压电晕极化后具有良好的电荷储存稳定性。
采用与集成电路技术兼容的简单物理方法，使热生长硅表面具有疏水性，或在其近表面引起电荷陷阱，达到有效提高驻极化电荷稳定性的目的，为集成微音器的制造提供技术基础。
等离子体表面处理技术广泛应用于半导体、电子、医疗、机械、印刷、汽车制造等行业，可处理的对象有光学膜、复合膜、超导膜、聚合膜、酯膜、尼龙膜、塑料膜、金属膜等。等离子表面处理技术经过处理的样品有：PET离型膜，PTFE膜，PI膜，PEEK振膜，硅胶膜，动力电池芯铝膜，石墨烯膜等，其主要目的是清洁有机物，激活和粗化表面，提高表面张力和附着力。
利用等离子表面处理技术，可以为手机触摸屏、生物医学、新能源行业、高分子行业等行业的客户提供了相关的等离子表面处理技术决策。
